高精度重型六轴并联定位平台是高负载六自由度定位平台hexapod,适合高精度六自由度定位应用。
高精度重型六轴并联定位平台ZONDA六足是高性能6DOF定位系统，满足高精度、稳定性、精度、重载和大行程的应用。
高精度重型六轴并联定位平台六吊舱设计用于定位高达400公斤的有效载荷，分辨率仅为0.1µm，在XY方向为400毫米，在Z方向为300毫米，在Rx、Ry和Rz三个旋转方向为40°时提供了出色的行程。
高精度重型六轴并联定位平台ZONDA六足具有的精度和热稳定性特性，这要归功于集成了具有非常低CTE（热膨胀系数）的Invar组件、作为致动器标准集成的线性编码器以及特别刚性的接头设计。
高精度重型六轴并联定位平台特色
高稳定性
负载高达400kg
大行程
可用于真空环境
高精度重型六轴并联定位平台典型应用
仪器科学与技术
航空航天
光学
计量
天文学
半导体等

高精度六轴并联定位平台参数
行程范围Tx,Ty：+/-200mm
行程范围：Tz： +/-150mm
行程范围：Rx,Ry:+/-20度
行程范围：Rz: +/-20度
分辨率Tx,Ty,Tz: 0.1um
分辨率Rx, Ry,Rz: 0.5urad
重复精度Tx,Ty,Tz: +/-0.25um
重复精度Rx,Ry,Rz:+/-1urad
速度Tx, Ty: 0.8mm/s
速度：Tz: 0.4mm/s
速度Rx Ry: 0.2度/秒
速度Rz : 0.4度/秒
负载: 400kg
刚度 XY:8.5N/um
刚度Z: 30N/um
工作温度：0-75℃
位移平台： dia720mm
中间通孔：dia 640mm
自身重量：99kg
线缆长度：3m
供电要求：110-240VAC