微型真空平移台是不锈钢材质的真空微型平移台和真空微型定位台,具有超薄设计和较高稳定性,可平移6mm,读取精度10µm.
微型真空平移台采用低剖面设计提高了稳定性和精度,盒式设计和弹簧预加载提高了平移台刚性降低了柔性,使用不锈钢制造增加了稳定性。
微型真空平移台方便快速安装到其它光学机械上或者搭建成XY平移台或XYZ平移台系统,也可以倒置使用.

图1：微型真空平移台实物图
微型真空平移台特点
超级紧凑
固态盒式设计
可使用的安装面大
移动范围是6mm
方便装配成X-Y二维平移台
不锈钢制造,可以用于真空环境


图2：微型真空平移台配备不同驱动螺钉

图3：微型真空平移台安装应用图-采用直角安装板2AB67-6
微型真空平移台规格参数
移动范围 6mm
灵敏度 1µM
读数精度 10µm
角偏差 ＜150µRad
跟踪精度 2µM
负载能力：
水平 45kg
垂直 3kg
重量 0.1kg
负载装配
X-Y 直接装配
Z轴 使用直角安装板2AB67-6