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FPSTA-8MT165-200 高负载电动线性位移台-200mm/50kg 光学表面分析仪

具体成交价以合同协议为准

2022-11-13
型号
FPSTA-8MT165-200
孚光精仪(中国)有限公司

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产品简介
高负载电动线性位移台是一款滚珠螺杆驱动的高精度线性电动位移台,带有高精度光学编码器,具有负载能力强,载重承载大的*优势
详细信息

高负载电动线性位移台是一款滚珠螺杆驱动的高精度线性电动位移台,带有高精度光学编码器,具有负载能力强,载重承载大的*优势。
高负载电动线性位移台采用3相无铁直线无刷伺服电机确保了平移台高精度,高重复精度,低磨损的良好性能,也可提供步进电机版本。

高负载电动线性位移台配备的旋转非接触式编码器作为反馈系统,确保了非直接控制定位,精度高达压纳米分辨率。
高负载电动线性位移台采用自然时效铝合金确保高温稳定性和柔软性,以及良好的长周期运动学特性,做到导向系统无漂移。特殊的导向系统带有循确保线性定位器高精度且经久耐用。
高负载电动线性位移台标准品可以用于真空度达到10^-3Torr的真空环境,并可提供适用更高真空度的产品,也可根据用户要求提供更高洁净度的产品。
高负载电动线性位移台可以很快连接到光学平台上,可直接搭建成电动XY二维平移台系统,并具有良好的正交特性。
对于工业应用,高负载电动线性位移台即可安装到各种光学平台,也可以安装到高平整度大理石龙门架上,保证高精度位移和平移定位应用。
高负载电动线性位移台规格参数

 行程范围200mm
 编码器类型光学编码器
 编码器型号MEn3
 编码器分辨率 1), PPR / CPR5000 / 20000
 编码器接口 RS422
 放大系数N/A
 编码器光栅周期,72mdeg
参考标记 (Index)Yes
精度2)
  标定前±5µm
  标定后< ±2µm
 单向重复精度N/A
双项重复精度(peak-peak)2)优于±1µm
双项重复精度(RMS) 2)±0.55µm
 Pitch 3)±130 / ±27µrad/arcsec
 Yaw 3)±25 / ±5µrad / arcsec
 RollN/A
 速度 (无负载) 4)<150mm/s
 加速度 ((无负载) 5)请联系我们获取
安全限位开关 (Safety)Optical (Optrons)
安全限位开关极性Pushed is closed
 限位开关电压, V5…24
负载导向信息
类型滚珠螺杆线性平移台 (Pitch: 3 mm)
电机类型43B
电机设计类型Internal Rotor BLDC Motors (3 phase)
Bus Voltage48VDC
负载 (中心放置) 6)
  水平50kg
  竖直20kg
 运动质量 7)2.2kg
 导向系统循环直线轨道和载物滑块单元
材料和外壳信息
 外部材料铝合金
 外壳处理黑色阳极氧化
 环境压力标准大气压
工作温度20±2°C
控制器
 推荐控制器 8)ACS Products Line or 8SMC5-USB series
推荐驱动器  8)ACS Products Line or 8SMC5-USB series
 推荐电源 9)Request Standa support
 推荐通讯接口 12)EtherCAT / RS232 / USB / TCP-IP
 线缆长度2m
 差分输出 10)On request
配件
 底板不需要
 XY二维平移台系统搭建直接搭建,需要安装适配板
 Z轴竖直平移台搭建可以
外形尺寸
 移动台尺寸 (W x L)170 x 170mm
 外形尺寸 (W x L x H)602 x 170 x 70mm
 公制或英制公制 / 英制均可提供
 XY二维平移台正交性 11)24/5 µrad/arcsec
 防护处理 13)固态颗粒和喷涂防护
 RoHS满足
 重量9kg

1) CPR - 编码器周期或每转计数; 默认为x4转PPR-脉冲数/每转.
2)精度和双向重复定位精度采用Zygo ZMI 501 Michelson laser interferometer测量计算
3) Pitch & Yaw 采用 11D-ALI-COL 电子自相关仪器测试,电子自相关仪11D-ALI-COL分辨率1µrad. 环境误差1µrad.
4) 速度由编码器限制和驱动器CUT-OF频率以及导向系统限制.
5)加速度由驱动器“Peak Current, Motors` Peak Current and External Load (inertia)决定.
6)负载能力由导向系统决定.
7) 运动质量是系统常数m0,通常是没有负载时的惯性。
8) 推荐的控制器和驱动器有助于发挥电动平移台的性能.
9) 推荐的电源是根据用户的占空比和负载来选择.
10) 差分输出接口,可提供主动或被动LCMv2接口.
11) 可组成正交性能更好的XY二维电动位移台系统.
12) 标量控制可采用USB / TCP-IP / RS-232通讯接口,矢量控制建议采用EtherCAT接口。
13) 平移台包括特殊封盖,可用于灰尘严重或湿度较大的环境。

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