响应式气体流量控制,适用于高压应用
MCQ系列气体质量流量控制器,同我们的标准控制器一样,能对需要较高管线压力(160-320 psia)的应用环境进行快速控制响应。这款高压应用质量流量控制器可快速达到新的设定值,并保持该设定值,即使在压力突然增加的情况下,亦如此。我们将根据您的应用参数为您定制阀门和PID调节功能,确保相关产品能够快速实现稳定控制。
- 多功能。监控流速的同时控制压力;可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER™气体编辑器确定自己的气体组成。
- 连接。利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus(RTU和TCP/IP)或串行通讯选项,可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。
- 耐用。MCQ系列高压气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。为保证对环境影响的耐受性,我们可以为您的MFC构建IP66等级防护。
更多产品信息请查看质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器。
性能
- 可用量程:大0-5000 slpm;小0-10 sccm(欲了解常备量程,请参见零件编号标签)
- 可调比:50:1
- 校准精度(NIST可溯源):±2%满量程
- 可重复性:0.2%满量程
- 标准控制器响应时间常数:50-100ms
- 无需预热时间
工作条件
- 兼容气体:98(MC系列)或130(MCS系列)种预置可选气体;利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体
- 工作温度:-10°C至+60°C
- 大内部压力(静态):305 psig(320 psia)
- 耐受压力:400 psig(415 psia)
- STP/NTP:用户可选(默认为25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP)
包装清单
- MCQ系列高压气体质量流量控制器(电源需另行订购)
- NIST可溯源校准证书
- 艾里卡特操作说明书
配件(需另行订购)
- 过程端口接头和过滤器
- 电源
- 通讯线缆和转换线缆
- BB3和BB9多点式集线盒
- Flow Vision软件