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有机无机蒸发镀膜仪-镀膜机
具体成交价以合同协议为准
2019-10-21郑州市
- 型号
- 参数
- 产地:国产 加工定制:是
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产品简介
有机无机蒸发镀膜仪
主要由二个有机材料生长室组成，两个有机材料生长室之间通过闸板阀联接，其中一个生长室系统预留与手套箱对接接口，能够完成二套独立的制备薄膜系统之间互相传送基片。的有机材料生长室主要由真空室腔体组件、有机蒸发源、热阻蒸发舟、样品传递装置、样品台、膜厚监测仪、真空室照明装置、烘烤装置等组成。
详细信息
主要由二个有机材料生长室组成，两个有机材料生长室之间通过闸板阀联接，其中一个生长室系统预留与手套箱对接接口，能够完成二套独立的制备薄膜系统之间互相传送基片。的有机材料生长室主要由真空室腔体组件、有机蒸发源、热阻蒸发舟、样品传递装置、样品台、膜厚监测仪、真空室照明装置、烘烤装置等组成。
简单介绍：
有机无机蒸发镀膜仪采用直线式结构，主要由二个有机材料生长室组成，两个有机材料生长室之间通过闸板阀联接，其中一个生长室系统预留与手套箱对接接口，能够完成二套独立的制备薄膜系统之间互相传送基片。的有机材料生长室主要由真空室腔体组件、有机蒸发源、热阻蒸发舟、样品传递装置、样品台、膜厚监测仪、真空室照明装置、烘烤装置等组成。
详情介绍：
有机无机蒸发镀膜仪设备用途：
用于生长薄膜太阳能电池，EL OEL分子有机电致发光器件薄膜的研究工作。广泛应用于大专院校、科研院所进行薄膜材料的科研与小批量制备。
技术参数：
真空室 | 二个D型真空室，尺寸均约为Ø450×H750mm; 两个真空室的真空系统配置、极限压力、恢复真空时间、热阻蒸发舟及电源、膜厚监测仪、真空室照明装置、烘烤装置、样品台的配置与技术参数指标相同； | |
真空系统配置 | 日本进口低温泵、无油涡旋干泵与电磁、复合数显真空测量规与计、阀门等。 | |
极限压力 | ≤2.0×10-5Pa | |
恢复真空时间 | 40分钟可达到1×10-4Pa | |
电动磁力耦合样品传递装置 | 真空室1 | 采用磁力耦合line motion传递装置，采用步进电机驱动，设有远程手控控制盒，可控制直线前进后退。 |
有机蒸发源及电源 | 真空室1 | 新型0EL升华型蒸发源9支，每支蒸料可装10CC，室温-800℃7支，室温-1000℃2支；蒸发源电源4台。 |
真空室2 | 新型0EL升华型蒸发源6支，每支蒸料可装10CC，室温-800℃6支；蒸发源电源3台。 | |
热阻蒸发舟及电源 | 新型蒸发舟2组（热阻蒸发舟）； 数字式热阻蒸发电源1台，带有细调功能（0.1安培）；镀铝盒式蒸发舟：2个； 普通金属蒸发舟10个；蒸发源挡板2套； | |
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