简单介绍：

近距离蒸发镀膜炉是一种双加热区快速热处理炉，具有11"外径的石英管。它是专为PVD或CSS(近距离升华)薄膜涂层3英寸直径或2"×2"。采用两组卤素加热器(顶部和底部)，zui大加热速率20ºC/s。两个30段精密温度控制器内置，精度为+/-1ºC。包括RS485端口和控制软件，允许通过PC操作炉子和温度曲线记录。它是研究新一代太阳能电池薄膜的主要工具，如CdTe、硫化物和钙钛矿太阳能电池。

详情介绍：

近距离蒸发镀膜炉产品特点：

 1、为了减小热辐射和达到快速冷却的效果，加热元件被嵌在水冷装置上。
 2、紧贴顶部加热元件上装有一氮化铝基片（Φ76mm×0.5mm），使得样品基片上的温度更加均匀。
 3、3″的石墨坩埚可放于底部加热元件上，用于盛放蒸发料。
 4、真空法兰通过两个硅胶O型圈进行密封，通过机械泵其腔内真空度可达10-2torr，通过分子泵真空度可达10-5torr。
 5、两个真空法兰都可以通过手动操作进行上下移动。
 6、一个数字式真空显示计安装在法兰顶部，可以准确测量腔内真空度。

技术规格：