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TMAH浓度计监测仪HE-960H-TM

TMAH浓度计监测仪HE-960H-TM适用于显影液中TMAH的浓度管理HE-960TM可精确测量半导体和液晶生产中光阻显影药液制程中主要成份TMAH (四甲基氢氧化铵)的浓度。传感器具有宽泛的量程和高耐药性。4-极式炭质传感器具有显著的耐药性。

其对偶电路和软件与4-极式炭质传感器相结合测量范围可达0至1000mS/cm而无需切换。由于具有两种浓度转换功能，所以可将其作为过程浓度计使用，也可监测特定化学药液中的浓度变化。

特征

• 大量程适用

自动小数点位调整能够测量的TMAH量程从0.000至10.00%。

• 自动显示范围切换

从高至低浓度显示范围自动切换。当维持有效的电导率分辨率是也可使用该产监测变化

• 可测3种数值：TMAH浓度值、电导率计和温度

当基于相关温度特性数据补偿温度时测量TMAH浓度。本机也可用于测量其它化学药液的电导率。

• 耐药性4-极炭质传感器

采用了新型的使用高耐药性玻璃碳材料的FES-510系列4-极式流通型传.

• 4-通道传送输出

本机配有4个输出通道，所以可分别用于TMAH温度、电导率和温度。可从2个类型的输出电流中进行选择：4至20 mA DC, 或 0 至 20 mA DC.

• 24 V DC 电源

   

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