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碳质探头传感器(高浓度型)监测仪 HE-960HC

碳质探头传感器(高浓度型)监测仪 HE-960HC适用于半导体和FPD生产制程中化学药液和废液的管理碳质探头传感器(高浓度型)监测仪 HE-960HC测量电导率可作为基于化学药液和废水管理的参数。其对偶电路和软件与4-极式炭质传感器相结合测量范围可达0至1000mS/cm而无需切换。由于具有两种浓度转换功能，所以可将其作为过程浓度计使用，也可监测特定化学药液中的浓度变化。

碳质探头传感器(高浓度型)监测仪 HE-960HC特征

• 大量程适用

zui高可测量至1000 mS/cm（温度补偿前的电导率量程）

• 自动显示范围切换

从高至低浓度显示范围自动切换。当维持有效的电导率分辨率是也可使用该产监测变化。

• 具有各种温度补偿

由于可自由设定标准温度和温度补偿 ，温度补偿可被应用于对应液体。

• 浓度转换功能

输入温度系数和浓度与电导率的关系，可进行两种浓度转换。

• 通讯功能 (RS-485) 为标准配置

可远程控制主机，例如：变更设定或检查测量值

• 耐药性4-极炭质传感器

采用了新型的使用高耐药性玻璃碳材料的FES-510系列4-极式流通型传感器。可测量使用于半导体清洗和其它制程中多种化学药液的大范围电导率。准确监测TMAH（羟化四甲铵），一种在半导体制程中光刻工艺时使用到的显影液的主要成分。
重复性：± 0.003%
测量范围：0-3%
耐化学药品的碳极传感器