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氢氟酸浓度计监测仪CM-200A/210A

氢氟酸浓度计监测仪CM-200A/210A为监测半导体制造工艺中氢氟酸浓度而开发出来的高精度氢氟酸浓度计。该设备通过采用电磁感应导电率计测量并实时显示氢氟酸浓度。广泛适用于各个使用氢氟酸的制造工艺。

特征：

实时显示氢氟酸浓度
可以通过导电率传感器检测氢氟酸浓度，通过<导电率>-<氟酸浓度>的检量线，自动地实时显示氟酸浓度。

实现了半导体制造工艺中低浓度范围的高精度
产品几乎覆盖了半导体制造工艺中所使用的氢氟酸溶液的全部量程(0-1/2/5/10/20wt%)。即使在0-1wt%的低浓度量程中，也实现了±2%F.S.以内的再现精度。适合于要求低浓度范围控制的存储器生产线中发挥出威力。

确保稳定检测的传感器
沉浸型传感器已经*被PFA树脂模块化，所以不会因氢氟酸溶液而发生金属腐蚀现象。并且，金属等不纯物不会溶入到样品溶液中，因此可以对其进行稳定的检测。

氢氟酸浓度计监测仪CM-200A/210A装有报警功能
为了实现更加可靠的工艺管理，分别具有浓度输出以及浓度上限・浓度上上限・浓度下限・浓度下下限的报警输出功能。

可以用于多用途
采用小巧的DIN96尺寸的转换器。小型・轻便，zui适于组装到氟酸的稀释装置、供给装置、晶片的清洗装置中。并且，具有直接浸没到液体中的沉浸型传感器(CM-200)和设置在工艺配管中的流通形传感器(CM-210)。您可以根据用途自由选择。