1.金相显微镜使用后先用干细棉布或擦拭纸擦拭仪器外表，以擦拭其灰尘或油污等，小心注意其仪器外表勿受伤。 2.再用干净细干棉布沾上工业用酒精，擦拭仪器外表，尤其金属及非金属表面。 3、金相显微镜镜面擦拭步骤： 3.1.先用拭镜纸轻轻擦拭镜面表面，勿用力以免伤及镜面。 3.2.再用棉花棒沾工业用酒精，轻轻擦拭镜面表面，并需等酒精挥发后，再装回去。 3.3.镜面擦拭可区分成校正玻璃片及镜头内透镜组，由于灰尘粒子会造成成像的黑点，镜面擦拭至为重要，装置后需重新借着影像观察擦拭结果。 4、金相显微镜传动部分：分干磨擦部分及润滑部分，干磨擦部分又有气浮轴承及无牙丝杆传动机构之区分。
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