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CEM3000系列台式扫描电镜:台式电镜领域的又一“中国神话”预告

2024/12/23 9:30:00

深圳市中图仪器股份有限公司作者

中图仪器CEM3000一键快速成像扫描电镜是一款用于对样品进行微观尺度形貌观测和分析的紧凑型设备。不同于立式电镜,CEM3000系列台式扫描电镜无需占据大量空间来容纳整个电镜系统,这使其甚至能够出现在用户日常工作的桌面上,在用户手边实时呈现所得结果。

此外,该系列台式电镜也可以进入手套箱、车厢还是潜水器等狭小空间内大显身手。即便在一些常规电镜难以耐受的工作环境中,该系列台式电镜也能凭借抗振防磁技术,展现出色的性能。

一键快速成像扫描电镜

产品功能

1)台式电镜紧凑的外型,能够不受场地尺寸制约,真正做到了空间适用性,用户甚至可以将其就近摆放在自己的桌面上。同时CEM3000也能根据用户需求,轻松移机,一台机器多处开花;

2)高分辨率,能够对微尺寸特征进行观测分析,满足用户的观测需求;

3)快速抽放气,凭借真空系统设计,该系列台式电镜缩短了用户抽放气的等待时间;

4)高易用性,能够快速成像、一键出片,用户使用自动调节功能,无需过多人工操作,就可得到高质量拍摄图片;

5)大样品仓,CEM3000A在保证较小外型尺寸同时,具有比肩立式电镜的大仓室,从而容纳更大尺寸样品;

6)高抗振防磁性能,全系列电镜均具有优秀的抗干扰能力,特别是CEM3000B使用本公司技术,基于复合抗振手段,将扫描电镜抗振性能提升到了新的高度;

7)可选配低真空模式,保证用户能够根据需要设定电镜样品仓内真空度,进而对不同类型的样品进行观测;

8)能够提供多种成像参数供用户选择,满足专业用户的调节需求;

9)搭配有多种探头,能够对样品进行多种手段的分析。

一键快速成像扫描电镜

性能特色

1.高易用性快速成像、一键成片,无需过多人工调节。

2.超高分辨率优于4nm(SE),优于8nm(BSE)@20kV。

3.超大景深毫米级别景深,具有高空间分辨率。

4.多探测器可实现四分窗同时扫描成像。

5.抗振性能优异。

应用领域

CEM3000一键快速成像扫描电镜外型紧凑,空间适用性强,整机采用大量的抗干扰设计,避免使用环境造成的影响,拓宽了应用范围。同时,该系列台式电镜具有非常丰富的自动调节功能,能够对不同类型的样品进行观测,具有高空间分辨率。

用户可在CEM3000系列台式扫描电镜上搭配不同的探头,同时接收多种信号,对样品进行分析。

应用范例:

一键快速成像扫描电镜

CEM3000系列共涵盖CEM3000A(大样品仓型)和CEM3000B(抗振型)两款强化机型,CEM3000A在不改变整机外观尺寸的情况下,拓展了样品仓尺寸,从而可对大尺寸样品或多个常规尺寸样品进行分析。同时,用户也可选择加装有减振仓的CEM3000B,确保在缩短抽放气时间的同时,消除环境振动对电镜的影响,保证了高倍数成像时的图像质量。

此外,该系列电镜也可通过加装各类探头和附件,满足用户的拓展性需求,这使其在材料科学、生命科学、纳米技术、能源等多个领域得到了广泛应用。

部分技术指标

型号NS200
样品观察500万像素彩色摄像机 正视视野:2.2×1.7mm
探针传感器超低惯量,LVDC传感器
平台移动范围X/Y电动X/Y(150mm*150mm)(可手动校平)
单次扫描长度55mm
样品厚度50mm
载物台晶圆尺寸200mm(8吋)
台阶高度重复性5 Å, 量程为330μm时/ 10 Å, 量程为1mm时(测量1μm台阶高度,1δ)
尺寸(L×W×H)mm630×610×500
重量40kg
仪器电源100-240 VAC,50/60 Hz,200W

恳请注意:因市场发展和产品开发的需要,本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改,恕不另行通知,不便之处敬请谅解。

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