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H32.TR4S系列三轴角度运动高精度压电偏摆/旋转台

来源: 哈尔滨芯明天科技有限公司

2024/11/7 13:19:42 298

H32.TR4S系列压电偏摆/旋转台其内部采用无摩擦柔性铰链结构设计可实现θx、θy偏摆及θz旋转三维运动。它具有响应速度快、闭环定位精度高负载大等特点因其优异的性能,可在模拟振动环境中作为模拟振动台,完成高精度、快速的微振动控制,从而满足用户对精密装备控制精度测试分析以验证和提高精密仪器与装备的性能。产品外观如下图所示。

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产品特点

θx、θy偏摆及θz旋转

θx、θy偏摆角度可达4.6mrad/轴

θz旋转角度可达3.2mrad

分辨率可达0.05μrad

承载可达1kg

闭环版本定位精度高

亚毫秒响应时间

产品应用

振动试验

空间扰动模拟系统

干涉/计量

大负载运动试验

技术参数

型号

H32.TR4S/K

运动自由度

θx、θy、θz

驱动控制

4路驱动,3路传感/4路驱动

标称偏摆角度(0~120V)

θxθy: 3.7mrad

θz: 2.6mrad

Max.偏摆角度(0~150V)

θxθy: 4.6mrad

θz: 3.2mrad

传感器类型

SGS/-

分辨率

θxθy: 0.15/0.07μrad

θz: 0.1/0.05μrad

闭环线性度

可达0.03%F.S.

闭环重复定位精度

可达0.02%F.S.

空载谐振频率

θxθy: 250Hz

θz: 560Hz

带载谐振频率@1kg

θxθy: 140Hz

θz: 200Hz

静电容量

θxθy: 14.4μF

θz: 10.8μF

阶跃时间

30ms@1kg/10ms

承载能力

水平安装

1kg

立式安装

0.5kg

倒置安装

0.5kg

材质

不锈钢、铝合金

重量(不含线)

2240g

配套控制器

E70.D4系列压电控制器非常适用于驱动H32.TR4S系列压电偏摆/旋转台。它是一款小体积、大功率、低功耗、高带宽、低纹波噪声的四通道压电控制器。采用DC24V供电,输出电压为0~120V或0~150V,开闭环可选,模拟及数字控制,可通过串口、USB或网口进行数字通信,且体积小,非常易于集成。

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