在半导体芯片制造过程中，对生产环境的洁净度要求非常高，必须禁止因粉尘颗粒、工艺偏差等因素造成晶体短路或断路，控制净化环境下的作业现场中超微小颗粒物数量，以保证产品质量和提升产品良率，特别是对于0.1μm粒子的检测至关重要。
在半导体芯片生产过程中，粒子计数器主要应用于：
1. Fab厂的制造工艺检测：在晶圆的光刻、涂胶显影、刻蚀等多个工艺环节中，使用粒子计数器检测环境中的尘埃粒子，确保工艺的精确性。
2. gao端封装过程：在晶圆切割封装过程中，粒子计数器同样发挥着关键作用，保证封装质量。
3. 半导体设备生产工艺的质量监测：通过粒子计数器对设备工艺点进行监控，确保生产过程的稳定性和产品质量。
参考法规和标准：
粒子计数器严格遵守ISO 21501-4法规，并满足ISO 14644-1（2015）洁净室悬浮粒子测试方法的要求，适用于class 1至6级的洁净室环境。
使用方法：
参照ISO14644-1（2015）法规的内容，针对不同洁净度等级下监测粒径的上限要求，通过法规内容的计算方法测算采样点数及每个点采样时间，对仪器进行设定后，按照该方法进行逐个点位测试。
KANOMAX公司推出的超小型尘埃粒子计数器3950-00，同时监测0.1μm和0.3μm的单位体积内的微小粒子个数，也可作为传感器嵌入生产设备实时监测作业现场的超微粒子，为净化作业环境的洁净度评定提供依据，为芯片制造保驾护航！
Kanomax尘埃粒子计数器3950-00，不仅将经典品质传承，而且实现了嵌入组装在半导体制造等装置中。
既往产品尺寸难以嵌入半导体制造装备中使用，本产品通过压倒性的小型化，使传感器嵌入设备中使用变为简便易行。
致轻、致小，采样量2.83L/min，同时测试0.1μm、0.3μm微小粒子，4.3英寸彩色触摸屏显示屏，可使用附带软件在PC上显示测试数据。设有RS-485、Ethernet、USB通讯接口。
KANOMAX 0.1μm超小型粒子计数器3950在半导体芯片制造环境中的应用
留言