六氟化硫电气设备水分严重超标将危害绝缘，影响灭弧，并产生有毒物质。断路器含水量较高时，很容易在绝缘材料表面结露，造成绝缘下降，严重时发生闪络击穿。含水量较高的气体在电弧作用下被分解，六氟化硫气体与水分产生多种水解反应，产生三氧化钨、氟化铜等粉末状绝缘物，其中氟化铜有强烈的吸湿性，附在绝缘表面，使沿面闪络电压下降，氢氟酸、亚硫酸等具有强腐蚀性，对固体有机材料和金属有腐蚀作用，缩短了设备寿命。六氟化硫气体水分的危害不仅仅只针对设备，实际上水分超标还会导致SF6气体及在高温电弧作用下产生的有毒分解物排放到大气中，伤身又危害环境。
我们首先得明白的是六氟化硫(SF6)气体的化学性质非常稳定,在空气中不燃烧,不助燃,与水、强碱、氨、盐酸、硫酸等不反应，纯净的高纯六氟化硫气体在不存在窒息条件时是非常安全无害的存在，然而由于气体提取技术不过关或者是钢瓶处理保存不到位，亦或者是长期循环使用过的SF6气体中难免会含有一定量的水，极微量的水分造成不了威胁，但是当水分含量超标时，六氟化硫气体水分的危害非常巨大!
实际上在SF6气体生产的过程中会受到生产设备的材质、工艺条件等因素的影响，除在合成过程中产生的水分外，在气体的充装过程中还可能混入少量的水分。为了预防可能的六氟化硫气体水分的危害，国家对于SF6气体的质量指标有着严格的规定，要求生产厂家在供货时提供生物试验无毒证明书，要求对出厂的SF6产品国际电工委员会(IEC)及许多国家均制定了质量标准。除了气体中的水分之外，设备中同样可能混有水分!绝缘件带入的水分。原因是在长期运行中，有机绝缘材料内部所含的水分慢慢释放出来导致含水量增加。吸附剂带入的水分。原因是吸附剂活化处理时间过短，安装时暴露在空气的时间过长。透过密封件渗入的水份。原因是大气中水蒸气分压为设备内部的几十倍甚至几百倍，在压差作用下水分渗入。设备渗漏。原因是充气接口、管路接头、铸铝件砂孔等处空气中的水蒸气渗透到设备内部，造成微水升高。这种种缓解都是可能引起六氟化硫气体水分的危害的原因。
