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inficon 真空计的名称由来

真空腔体的真空压强检测使用真空计，一般配置是：前级泵组管道配置一只PSG500；本底真空配置一只热电离规或者冷阴极规MPG400或者BPG400；工艺压强测量/监控配置一只CDG025D。

1. PSG系列: Pirani Standard Gauge

2. PCG系列: Pirani Capacity Gauge

3. CDG系列：Capacity Diaphragm Gauge

4. BAG系列：Bayard Alpert Gauge

5. VGC系列：Vacuum Gauge Controller

6、BPG系列：Bayard-Alpert Pirani Gauge（B-A型皮拉尼）

7、MPG系列：Magnetron Pirani Gauge（磁控皮拉尼）

8、HPG系列：High Pressure Hot Ionization Pirani Gauge

9、PGE系列：Pirani Gauge Enhanced

10、PEG系列：Penning Gauge（冷阴极潘宁规）