近年来，随着工业设备及应用的升级与进步，对宏动行程范围的运动控制提出了更高的要求，更大的行程范围（mm级）、更高的运动精度（nm级）成为目标。芯明天聚焦前沿科技应用，结合自身技术优势，组织研发团队进行了大量的设计与试验，终于实现了技术上的突破，成功研制了直线压电马达运动平台。
芯明天直线压电马达
压电马达是由压电陶瓷作为驱动单元，利用特殊的机械结构设计，将压电陶瓷产生的直线微位移转换为机械平面的宏观直线运动，行程可达几百毫米，精度则依然可以保持压电陶瓷的超高精度，达纳米级。
原理介绍
芯明天N31系列直线压电马达的驱动原理如下图所示，下图中展示了部分压电驱动足的驱动动态效果。
该直线压电马达中具有多对压电陶瓷驱动，成对的压电陶瓷在不同电压驱动下发生推拉运动，从而使移动台面产生爬行前进或后退，而每对压电陶瓷间的配合，将该直线压电马达平台的运动速度成倍提高。并且，采用该种结构的直线压电马达提供了非常高的保持力，是一般压电马达保持力的10倍以上。
芯明天N31系列直线压电马达，内部采用高性能PZT驱动，直线运动行程可选25mm、50mm、100mm，可达亚纳米级分辨率。选配闭环伺服传感器（增量式编码器）可提供更高的定位精度。
N13.25E直线压电马达
(25mm行程，配有闭环传感器，带移动台面)
N13.50E直线压电马达
(50mm行程，配有闭环传感器，带移动台面)
N13.100E直线压电马达
(100mm行程，配有闭环传感器，带移动台面)
产品特点
•大出力
•上电自动找零位
•闭环误碰后自动归位
•可选光栅尺数字闭环
•采用耐磨材料，真空无磁兼容
•可选二/三维组合
应用领域
•工业级精密定位
•半导体技术/测试
•晶圆检测
•平版印刷
•纳米压印
•纳米计量学
•在强磁场和真空中运动
直线压电马达位移测试
大出力
N31系列直线压电马达的主动推拉力可达30N，被动保持力达40N。并且N31系列直线压电马达水平放置时，可在承载5kg负载下进行高精度运动。
可选配移动台面
N31系列直线压电马达，可根据应用需求选择配备移动台面。移动台面的表面预留有阵列安装螺纹孔。
未安装移动台面 安装移动台面
耐磨材料
N31系列直线压电马达采用高耐磨材料，寿命达千米以上。
高精度增量式编码器
N31系列直线压电马达可选配增量式编码器作为闭环传感器，可提高直线运动精度，分辨率＜10nm。
断电自锁
N31系列直线压电马达在断电后具有自锁功能，且再次上电时，会自动找零。在使用中，当外力导致的行程变化时，N31也会自动调节归位保持控制位置精度。
技术参数
型号：N31
运动自由度：X
集成传感器类型：增量式编码器
标称行程范围：25、50或100mm
速度上限：10mm/s
闭环分辨率：＜10nm
开环分辨率：＜0.1nm
线性度：1μm
重复度：1μm
推/拉力（主动）：30N
保持力（被动）：40N
最大承载：5kg
工作温度：0~50℃
质量（包含电缆）：565至715g
材质：铝、不锈钢
电缆长度：1.5m
压电马达配套控制器
E71系列压电控制器是专为驱动N31直线压电马达而研制，它是由上位机数字控制，且压电马达的运动速度可调。
技术参数
型号：E71
控制方式：伺服控制/开环控制
供电输入电压：24VDC/4A(20V~30V)
静态功耗：<10 W
处理器：32bit 168MHz
D/A 转换器：16bit
串口波特率：115200
通信接口：USB、RS-422、RS-232
峰值电流：1A
平均电流：75mA
纹波：10mVpp（加载2.2μF）
额定输出功率：50W
工作温度范围：0~50℃
输出短路电流：60mA
尺寸：162.5×162×45.5 mm^3
重量：1.3kg
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