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INFICON电容薄膜规的特点概要

一、 电容薄膜规的常用型号

1、 CDG025D、CDG045/100/160/200

二、 电容薄膜规的特点

· 以可靠的超纯陶瓷传感器室为基础构成

· 在严酷和腐蚀性环境中,稳定与可靠的高精度压强测量

· 快速的预热和恢复时间,提高生产率

· 良好的长期稳定性,再现性和重复性

· 由于电子学直接安装在传感器上,改进了温度补偿和EMC兼容性

· 对环境条件变化的敏感度的降低使得测量更稳定

· 快速预热,在开机的一分钟内达到快速稳定和进入准备使用状态

· 一键按钮: 调零功能和设置点调整

· 抗腐蚀超纯陶瓷传感器

· 能经受数百万次压强循环周期,包括大气压冲击,无任何降低性能的迹象

· 暴露大气压后快速恢复,无需隔离阀

· 对蒸气介质不敏感

· 传感器屏蔽延长真空计在污染的工艺过程中的使用寿命

三、 加热型薄膜规的常用型号和优点

CDG045、CDG100、CDG160、CDG200

· 零飘极小0.1%FS/年（干净真空环境）

· 更高的精度

· 环境温度变换/环境压力变化/环境气流变化对精度无影响

· 比工艺更快的预热启动时间’

· 快速恢复时间大气压 < 1 min within 5mV

· 任意安装角度

· 抗污染，可有效抵抗工艺气体或工艺产生气体的腐蚀影响

四、 电容薄膜规的应用行业

在要求比较高的应用条件下，精确而快速的压强测量

· 用于刻蚀，CVD、PVD、ALD半导体设备制造，如太阳能光伏行业的PECVD用的很多

· 刻蚀上一般用陶瓷型的CDG025D-X3比较多，抗污染性能比较好。

· 一般国内用的PECVD还有多晶炉上用的MKS的电容薄膜规622A/626A/627D和INFICON的CDG025D比较多，如德国Ruth&Rau公司的PECVD设备标配产品为MKS的626B13TDE和627D01TDC1B,质量流量计用的是1179BX23CR14VSPC1 800sccm/SiH4和1179BX5CR14NSPC1 2000sccm/NH3