Sierra的SmartTrak 100热质量流量控制器是一款多气体数字MFC,旨在提供您每次可依靠的平稳,稳定,准确和可重复的气体质量流量控制。不受上游气体温度和压力波动的影响,Sierra SmartTrak 100的气体质量流量控制是直接而明确的。SmartTrak已获得CE认证,可在您的较大流量范围(高达1000 slpm或更高)下使用,具有各种尺寸,工业防水外壳,工作压力和温度以及行业尺寸。
采用热技术的直接质量流量+/- 0.5%满量程精度。
多气体数字质量流量控制器。
50 slpm的占地面积小,非常适合OEM。
主要标准的10点NIST校准。
所有清洁气体,包括有毒和腐蚀性
高精度:满量程的+/- 0.5%
精度:满量程的+/- 1%
重复性:满量程的+/- 0.2%
流量范围从0-10 sccm到0-1000 slpm(nlpm)
更高和更低的流量范围
压力至500 psig(34.5 barg)
气体/环境温度32°F至122°F(0°C至50 C)
响应时间:300ms时间常数:2秒(典型值),在终值的±2%之内(包括建立时间),根据要求提供更快或更慢的速度
24 VDC电源
密封件:Viton,Neoprene,Karlez
316不锈钢结构
包括模拟或数字信号:RS-232,RS-485(多点),0-20、4-20 mA; 0-5、1-5、0-10 VDC
数字通信: 基金会现场总线 和 Modbus RTU