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电容式,陶瓷压阻式,硅压阻式,单晶硅压力传感器的分类

来源: 西安鼎金电子科技有限公司

2020/11/5 10:13:37 2604

1.电容式压力、差压传感器的原理

电容式变送器有一个可变电容的传感组件.该传感器是一个*封闭的组件过程压力、差压通过隔离膜片和灌充液硅油传到传感膜片引起位移.传感膜片和两电容极板之间的电容差由电子部件转换成(4-20)mA的两线制输出的电信号。

2 、陶瓷压力传感器原理及应用

抗腐蚀的陶瓷压力传感器没有液体的传递,压力直接作用在陶瓷膜片的前表面,使膜片产生微小的形变,厚膜电阻印刷在陶瓷膜片的背面,连接成一个惠斯通电桥(闭桥),由于压敏电阻的压阻效应,使电桥产生一个与压力成正比的高度线性、与激励电压也成正比的电压信号,标准的信号根据压力量程的不同标定为2.0/ 3.0 / 3.3mV/V等,可以和应变式传感器相兼容。通过激光标定,传感器具有很高的温度稳定性和时间稳定性,传感器自带温度补偿0~70℃,并可以和绝大多数介质直接接触。

3 、扩散硅(硅压阻)压力传感器原理及应用

工作原理被测介质的压力直接作用于传感器的膜片上(不锈钢或陶瓷),使膜片产生与介质压力成正比的微位移,使传感器的电阻值发生变化,和用电子线路检测这一变化,并转换输出一个对应于这一压力的标准测量信号。利用应变电阻式工作原理,采用硅-蓝宝石作为半导体敏感元件,具有****的计量特性。一般的差压变送器所用传感器的种类有很多,几十年来技术更新出很多种;例如差压变送器,用扩散硅做差压传感器那已经是很落后技术了。电容的差压模盒是所用较多的技术,典型的就是罗斯蒙特的差压变送器,它所用的技术就是电容技术,这种技术也是比较古老的技术了,但是可以说这个技术是目前经久不衰的技术。其他的差压传感器出现了硅谐振等新式技术,例如日本EJA等。在性能方面无论是电容式还是其他的都有各自的优缺点,在性能方面是不相上下的!但是技术归技术,你还要考虑到生产厂家的生产工艺等因素对产品质量的影响,所以*好还是选择正规有实力的厂家的差压传感器!

4. 单晶硅传感器

在单晶硅芯片上采用微电子机械加工技术(MEMS),分别在其表面的中心和边缘制成两个形状、大小*一致的H形谐振梁,且处于微型真空腔中,使其既不与充灌液接触,又确保振动时不受空气阻尼的影响。硅谐振梁处于由磁铁提供的磁场中,与变压器、放大器等组成一正反馈回路,让谐振梁在自激振荡回路中作高频振荡。当单晶硅片的上下表面受到压力并形成压力差时,硅片将产生变形,导致中心谐振梁因压缩力而频率减小,边缘谐振因受拉伸力而频率增加,因而使两个H形谐振梁分别感受到不同应变作用,其结果是中心谐振梁因受压缩力而频率减少,边缘谐振梁因受到张力而频率增加,两个频率之差对应不同的压力信号

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