压阻式压力传感器以半导体应变片为主，其常用的弹性变形体是单晶硅膜片。因此，半导体应变片可采用集成电路技术直接在弹性元件上形成扩散硅电阻，在膜片睛扩散硅四只应变电阻，组成一个全桥测量电路。压阻式压力传感器的特点是体积小，结构简单，灵敏系数大，单晶硅膜片既是弹性元件又是压敏元件，易于批量生产。有的压阻式传感器甚至将温度补偿电路、电源变换电路、放大电路集成在同一硅膜片上，既提高传感器的静态特性和稳定性，又实现传感器的微型化、集成化和智能化，是目前发展和应用较为迅速的压力传感器。这种传感器又称固态压力传感器，也集成压力传感器
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