由于抗腐蚀的干式陶瓷电容压力传感器没有中间液体的传递, 过程压力直接作用在陶瓷膜片的前表面,衬底的电极与膜片电极的电容量变化比例与压力大小,电容的变化值经激光微调,传感器信号调理电路ASIC放大输出高达4000mV的直流电压,内置的温度传感器不断测量介质的温度并进行温度补偿。因此过载时,膜片贴到陶瓷衬底上而不会损坏。当压力恢复到正常时,其性能不受任何影响。*解决了低量程过载能力差的缺点,是扩散硅传感器的升级换代产品。标准化的高输出具 有*的抗*力,配线路板可进行大的量程迁移(10:1)和时间稳定性,自带温度补偿,并可以和绝大多数介质直接接触。
并且陶瓷电容压力传感器由于没有液体的传递作用,无任何填充液,不会产生工艺污染, 因此在食品、医药等行业有着广泛的应用,加之是干式陶瓷膜片,故不受安装方向影响,以其作为敏感元件生产的压力变送器被广泛地应用在各种测量压力的场合。
而陶瓷电容压力传感器干式陶瓷电容厚膜压力传感器的zui大特点是:量程可以小到700Pa,抗过载 能力可达量程10倍,*解决了其它类型传感器没有小量程及在小量程时过载能力差的缺点,它除具有一般传感器的量程外,其特色的是它的正负表压功能,如:±7kPa等。