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椭圆偏振测厚仪 LDX-SGC-1A的方法和特点

来源：山东利达信仪器仪表设备有限公司

2016/4/9 9:18:37 599

椭圆偏振测厚仪椭圆测厚仪

型号：LDX-SGC-1A

技术指标：

编号	名称	参数
1	测量范围	1nm-300nm
2	测量Z小值	≤1nm
3	入射角	30°～90°误差≤0.1°
4	偏振器方位角读数范围	0°～180°
5	度盘刻度	每格2度
6	游标Z小读数	0.05°
7	光学中心高度	152mm
8	工作台直径	φ70mm
9	外形尺寸	730mm×230mm×290mm
10	主机重量	20kg

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