介电击穿机理可分为电击穿、热击穿、化学击穿、放电击穿等，往往是多种机理综合发生。
通常把不随温度变化的击穿称为电击穿，把随温度变化的击穿称为热击穿。
热击穿的外部表现是介电强度随温度升高而迅速下降，与施加电压作用的长短有关；与电场中产生的热量大于它能散热的热量，使其内部温度不断升高。
温度升高导致其电阻下降，流经试样电流增大，产生的热量更多，如此循环不已，致使介质转变为另一种聚焦态，失去耐电压能力，材料被破坏。
电击穿的特点是介电强度与周围介质的电性能有关；击穿点常常出现在电极边缘其至电极以外。
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