真空镀膜机由真空镀膜室、蒸发源、真空机组、卡具、蒸发电源、控制系统与辅助装置等组成。
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
真空镀膜机主要特点：
1、配有石英晶体或光学膜厚控制仪，可以实现膜厚镀膜自动控制，实现高精度的镀膜效果。
2、配RF离子轰击装置达到净化基体表面的作用，使膜与基体表面附着力更好，提高膜层的强度。
3、可同时蒸镀两种以上不同的蒸镀材料，可制成复合膜。
4、操作简便、适应生产、科研的理想机。
5、具有过流、过压保护及断水、欠压保护及电气互锁的功能。
真空镀膜机适用范围：
真空镀膜机适用于电子工业、光学工业的导电膜、光学膜、滤光膜、装饰膜等
1．建筑五金：卫浴五金（如水）．门锁．门拉手．卫浴、五金合叶、家具等。
2．制表业：可用于表壳．表带的镀膜、水晶制品。
3．其它小五金：皮革五金．不锈钢餐具．眼镜框、刀具、模具等．
4．大型工件：汽车轮毂、不锈钢板．招牌．雕塑等。
5、不锈钢管和板（各种类型表面）
6、家具、灯具、宾馆用具。
7、锁具、拉手、卫浴五金、高尔夫球头、不锈钢餐具、器血等五金制品镀超硬装饰膜。
8、手表、表带、眼镜、首饰等装饰品镀超耐磨装饰（金银）纳米膜和纳米膜和纳米叠层膜。
真空镀膜机操作：
1. 总电源。
2. 同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源：按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关，延时、电源及保护灯亮，三分钟后延时及保护灯灭，若后门未关好或水流继电器有故障，保护灯会常亮。
3. 开高压，高压会达到10KV以上，调节束流可到200mA左右，帘栅为20V/100mA，灯丝电流1.2A，偏转电流在1~1.7之间摆动。
关机顺序
1. 关高真空表头、关分子泵。
2. 待分子泵显示到50时，依次关高阀、前级、机械泵，这期间约需40分钟。
3. 到50以下时，再关维持泵。
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