ADL HX 200 / 500V  工业溅射镀膜专用高性能直流电源

ADL HX 200 / 500V 是一款面向工业溅射镀膜领域的高性能直流电源，由德国ADL集团专为严苛物理气相沉积（PVD）工艺打造，额定输出功率20 kW，输出电压500 V DC，额定输出电流60 A，以精准控制、稳定运行与智能工艺适配能力，成为光学镀膜、工具硬质涂层及微电子薄膜沉积的核心配套设备。

核心技术参数

智能电弧处理与高效功率输出

该电源的核心技术亮点在于智能电弧处理与高效功率输出，针对磁控溅射过程中易出现的电弧缺陷，HX 200 / 500V 内置高速弧处理电路，检测延迟低至6 µs，灭弧时间可控制在毫秒级，电弧能量被压制在极低水平，能自动识别并抑制微弧产生，且瞬时恢复正常输出，无需人工干预，有效减少靶材“打弧”斑点，提升薄膜附着力与沉积均匀性，降低基材损耗率。

同时，其电源转换效率＞94%，满载功率因数＞0.98，在高负载工况下仍能保持低能耗运行，符合工业节能降耗的主流需求，为企业降低生产过程中的能源成本，提升生产效益。

紧凑结构与可靠散热设计

在结构与散热设计上，该电源采用½ 19英寸标准5U机架结构，宽218mm、深645mm，结构紧凑可直接集成到真空镀膜设备中，无需额外控制柜，节省工业生产空间，便于设备的整体布局与集成。

冷却方式采用强力水冷系统，即使在40℃无空调车间环境下，仍能实现24小时满载连续运行，有效保障电源内部元器件寿命，平均时间（MTBF）＞100 kh，大幅降低后期运维成本与设备停机风险。

灵活控制与*系统扩展性

它具备出色的控制灵活性与系统扩展性，支持恒压、恒流、恒功率三种运行模式，输出精度±1%，配备可旋转分离式显示屏，实现本地参数调试与实时数据监控，方便工艺人员现场操作与优化。

同时支持Profibus、RS-485等通讯接口，可无缝接入自动化生产线实现远程闭环控制，多台电源并联运行时，总功率可扩展至280 kW，满足大规模工业化生产的功率需求，为不同产能规模的镀膜生产线提供灵活适配方案，是工业级高精度薄膜沉积工艺的可靠技术支撑。