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如何判断手套箱的密封性能是否达标?

来源: 伊特克斯惰性气体系统(北京)有

2025/1/6 15:46:17 46

一、压力衰减测试

原理

这是一种常用的检测方法。通过向手套箱内充入一定压力的气体(一般是惰性气体,如氮气),然后关闭进气口,观察一段时间内压力的变化情况。如果手套箱密封良好,压力下降的幅度应该在允许的范围内;如果存在泄漏,压力会明显下降。

操作步骤

首先将手套箱内的压力升高到一个设定值,例如比外界大气压高 10 - 20kPa。使用高精度的压力传感器记录初始压力值,然后关闭所有与外界相通的阀门,包括进气阀、排气阀等。在一段时间内(通常是数小时甚至更长时间,具体根据实际情况和要求而定),持续监测压力变化。如果在规定时间内,压力下降不超过一定数值(如每小时下降不超过 0.1 - 0.2kPa),则可以认为密封性能基本达标。

二、氦质谱检漏

原理

氦气是一种小分子、高扩散性的气体,且在空气中含量极低。利用氦质谱检漏仪,将氦气喷在手套箱可能泄漏的部位,如箱体的焊缝、接口、手套与箱体的连接处等。如果这些部位存在泄漏,氦气会进入手套箱内部,氦质谱检漏仪就能检测到氦气的信号,从而确定泄漏点及其泄漏率。

操作步骤

首先将手套箱内抽成真空状态,或者充入一定压力的气体。然后,使用氦气喷枪将氦气喷在怀疑有泄漏的地方。氦质谱检漏仪与手套箱的内部空间相连,一旦检测到氦气,就会显示出相应的信号强度和泄漏率。一般来说,对于半导体等对密封要求严格的行业,允许的氦气泄漏率可能要低于1×10⁻⁹ Pa・m³/s。

三、气泡检测法

原理

将手套箱密封后,在可能泄漏的部位涂抹肥皂水等表面张力较低的液体。如果有泄漏,气体从泄漏点逸出时会在液体中形成气泡,通过观察气泡的产生情况可以判断是否存在泄漏以及大致的泄漏位置。

操作步骤

在手套箱的焊缝、接口、阀门等部位涂抹均匀的肥皂水。然后向手套箱内充入一定压力的气体(压力不宜过高,以免损坏箱体),仔细观察涂抹肥皂水的部位。如果看到有连续的气泡产生,说明该部位存在泄漏,并且气泡产生的速度和大小可以大致反映泄漏的严重程度。不过这种方法相对比较粗糙,对于微小泄漏可能不太敏感。

四、氧气、水分含量检测

原理

在手套箱内建立一个相对稳定的无氧、无水的环境后,如果密封性能不好,外界的氧气和水分会逐渐进入箱内,导致箱内氧气和水分含量升高。通过检测箱内氧气和水分的含量变化,可以间接判断密封性能。

操作步骤

首先将手套箱内的氧气和水分含量降低到一个较低的水平,例如氧气含量低于 1ppm,水分露点低于 - 70℃。使用高精度的氧气分析仪和露点仪持续监测箱内的氧气和水分含量。如果在一段时间内(如数天),氧气和水分含量上升幅度较小(如氧气含量每天上升不超过 0.1ppm,水分露点上升不超过 1℃),则说明密封性能较好。


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