高纯氮气发生器的制氮纯度会受到以下因素的影响：
(1)气体原料的质量
气体是要经压缩后进入空气缓冲罐，那么压缩空气中如含有水汽、油雾，这些都会堵塞分子筛(CMS)的微孔，从而严重影响分离效果及CMS的使用寿命，因此，要想获得高纯度的氮气，空气至关重要，并且要经多次净化过滤，滤芯需要定期检查或者更换。
(2)吸附塔的工作时间
长时间的工作周期也即是阀门的切换时间间隔，有利于降低能耗，且节约空气原料，不过纯度也会因周期过长，分子筛会饱和而受到影响。
(3)分子筛的性能
分子筛是高纯氮气发生器的核心部件，它的性能好坏对于制得的氮气纯度有很大的关联，同时我们还需要根据实际需要的氮气流量和纯度来计算出分子筛的合适装填量。
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