造成真空计污染的原因
主要有以下几点：
一、工艺过程因素
1. 真空系统中的残余气体：如果真空系统在使用前没有充分清洁和抽真空，残留的气体中可能含有各种杂质，如油蒸气、水汽、灰尘等。这些杂质在一定条件下会沉积在真空计上，造成污染。
2. 工艺气体的反扩散：在某些真空工艺中，使用的工艺气体可能会在压力差的作用下反扩散到真空计所在的区域。如果工艺气体中含有易凝结或易吸附的成分，就会污染真空计。例如，在使用含氟气体的工艺中，氟化物可能会在真空计表面沉积。
二、设备维护因素
1. 密封不良：如果真空计与真空系统的连接部位密封不良，外界的空气和杂质可能会进入系统，污染真空计。例如，密封垫圈老化、破损或安装不当都可能导致密封失效。
2. 维护不当：在对真空系统进行维护和检修时，如果操作不当，也可能会引入污染物。比如，在更换真空计或进行维修时，没有采取适当的防护措施，使得灰尘、油脂等杂质进入系统。
三、环境因素
1. 空气中的灰尘和杂质：即使真空系统处于密封状态，也可能会通过微小的泄漏通道与外界环境相通。空气中的灰尘、水汽和其他杂质可能会逐渐渗透到系统中，污染真空计。
2. 温度和湿度变化：温度和湿度的变化可能会导致真空系统中的材料释放出气体或吸附水分，从而增加系统中的杂质含量，污染真空计。例如，在温度变化较大的环境中，某些材料可能会发生热胀冷缩，从而破坏密封，引入外界杂质。
