| 序号 | 不良类型 | 误差 |
| 1 | 电阻率 | 5%(0.3-3ohm·cm) |
| 厚度 | ≤ 1.5μm | |
| TTV | ≤ 3μm | |
| P/N | 无误判 | |
| BOW/WARP | 根据厚度指标计算 | |
| 2 | 边长 | ±0.1mm |
| 对角线长 | ±0.1mm | |
| 弦长 | ±0.2mm | |
| 角度 | ±0.1° | |
| 3 | 孔洞(包含贯穿和非贯穿) | 可识别直径大于0.15mm |
| 裂纹、隐裂 | 可识别宽度×长度:0.015mm×1mm | |
| 4 | 脏污(包含水痕、指纹、笔油、油污、水渍、蚊虫、黑点、承载器痕、孪晶、亮线等多种) | 可识别长×宽:0.15mm×0.15mm |
| 5 | 线痕 | 可识别深度0.015mm |