风速风量测试方案-仪表网-手机版

洁净区的洁净度主要是靠送入足够量的洁净空气，以排出、稀释室内产生的颗粒污染物来实现的。为此，测定洁净室或洁净设施的送风量、平均风速、送风均匀性、气流流向及流型等项目十分必要。

单向流主要是依靠洁净气流推挤、排替室内、区内的污染空气以维持室内、区内的洁净度。因此，其送风断面风速及均匀性是影响洁净度的重要参数。较高的、较均匀的断面风速能更快、更有效地排除室内工艺过程产生的污染物，因此它们是主要关注的检测项目。

非单向流主要是靠送入的洁净空气来冲淡与稀释室内、区内的污染物以维持其洁净度。因此换气次数越大，气流流型合理，稀释效果越显著，洁净度也相应提高。所以非单相流洁净室、洁净区的送风量及相应的换气次数，是主要关注的气流测试项目。

非单向流气流流型.jpeg

为了获得可重复的读数，记录各测点风速的时间平均值。

换气次数：根据洁净室总风量除以洁净室的容积求得。

根据ISO14644-3法规要求，针对洁净室的相关环境受控标准测量要求如下：

B.2.3.2 Supply air volume flow rate measured using a capture hood Because of the effect of local airflow turbulence and jet velocities issuing from an outlet, use of an airflow capture hood that captures all of the air issuing from each final filter or supply diffuser is recommended. The supply air volume flow rate is measured using an airflow capture hood with a measuring device, or the air velocity of the air exiting from an airflow capture hood multiplied by the effective area. The opening of airflow capture hood should be placed completely over the entire filter or diffuser, and the face of the hood should be seated against a flat surface to prevent air bypass and inaccurate readings. When an airflow capture hood with measuring device is adopted, the air volume flow rate at each final filter or supply diffuser should be measured directly at the discharge end of the hood.

由于送风口局部气流的扰动和喷射速度产生的效应，建议采用风量罩捕集所有从终端过滤器或送风散流器流出的空气。可以用配有计量计的风罩，或是用风量罩出风的风速乘以有效面积。风量罩的固定位置应该能够覆盖住过滤器或散流器，其表面应该靠在一个平坦的表面上，防止空气因旁流产生不精确的读数。如采用风量罩测量各个终端过滤器或送风散流器的风量，则应该在风量罩的排风端直接测量。