质量流量计是一种精确测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿。热式流量开关热导式流量开关。质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门，阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程，在工作的过程当中，控制器的入口和出口之间会产生一个气压降，即压差。
质量流量计使用中出现故障，一般分为工艺原因造成的测量故障和流量计本身器件出现损坏而引发的故障。
1、工艺原因引发的测量故障：
常见的就是被测流体出现两相流现象。具体到液体的测量中主要为被测液体没有充满流量计测量管或测量管上部集聚气体，或有固态杂质进入测量管中卡主，引发质量流量计故障报警。
处理方法：通过排放气体变更安装方式等手段保证质量流量计所测流体为单向流，采取措施清除测量管内的固体杂质。
2、质量流量计本身器件出现损坏造成流量计故障：
使用中常见的是流量计接线盒进水或接线松动引发短路、信号丢失等故障。
处理方法：对此除严格规范现场安装外，日常还要进行细致的巡检维护，防止处理不及时引发传感器线圈烧毁等更严重的故障发生。
3、变送器电路板损坏，常见的故障时变送器的电源板、信号处理输出板出现损坏。
处理方法：除严格规范线缆信号接线外还要做好防雷接地措施，使用独立的稳压电源保证供电电源的可靠性，防止电源电压大幅度波动而烧毁器件。
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