技术文章

INFICON/CDG025D-X3替代MKS耐腐蚀薄膜规

来源: 深圳市科锐诗汀科技有限公司

2023/8/2 13:27:14 1019

INFICON/CDG025D-X3替代MKS耐腐蚀薄膜规

您还在为寻找MKS产品烦恼吗?现英福康(INFICON)可以替代部分MKS产品。我司的3CB1-F51-230B/CDG025D-X3(1000 torr;DN16 ISO-KF)可以替代MKS722;MKS626;MKS727等型号产品, 此款产品具抗腐蚀超纯陶瓷传感器和传感器屏蔽功能,现有部分现货为您准备好了,欢迎咨询!

INFICON SKY CDG025D 电容式隔膜真空计系列的高精度、温度补偿型压力计,可以在恶劣的生产加工环境中提供稳定的性能。高级数字电子元件可提高仪表性能, 且易操作, 例如一键归零功能和设定点调整。防腐蚀超纯陶瓷传感器提供优异的零位稳定性(包括气压突变的情况),预期使用寿命长达数百万次压力循环。传感器屏蔽可防止仪表被过程污染。坚固的机械设计和数字电子元件可以改进电磁兼容性 (EMC)、长期稳定性和温度补偿。CDG025D 为开机后快速稳定以及从气压中快速恢复的功能树立了新的标准。

好处: 100 mTorr 至 1000 Torr 的满刻度量程;电源接通后快速稳定;暴露于大气压后快速恢复;防腐蚀陶瓷传感器;长期信号稳定性;温度补偿;传感器受双重防污染保护;一键调零功能;宽范围电源;2个设定点;RS232 接口;无尘室合规

典型应用:用于蚀刻、CVD、PVD 和 ALD 的半导体制造设备;数据存储和显示器制造设备;工业真空设备;经济、高度精确的压力测量

image.pngimage.png


相关产品

猜你喜欢

您的留言已提交成功~

采购或询价产品,请直接拨打电话联系

联系人:刘曙东

联系方式:
当前客户在线交流已关闭
请电话联系他 :