微纳结构的柔性电子器件因其高的灵敏性、皮肤亲和性、延展性、柔韧性等*的性能在生物医学领域受到广泛的关注。本篇报道综述了微纳米结构柔性电子的进展，阐述了柔性电子器件的微纳结构、相关制备技术、在生物医学领域的应用以及面临的机遇与挑战。
微纳结构柔性电子的结构
图1. 压力柔性电子产品的微纳结构
（a）具有不同占空比的微锥结构压力传感器的扫描电子显微镜（SEM），以及占空比与灵敏度之间的关系。（b）微针结构压力传感器的SEM。（c）微柱结构压力传感器的SEM和响应压力的电气变化。（d）随着距离和接触面积的变化，施加在微圆顶结构压力传感器上的压力示意图。（e）具有多孔结构的压力传感器示意图和相应的SEM图像。
图2.应变柔性电子器件的微/纳米结构
（a）聚二甲基硅氧烷 (PDMS) 基板(i)上银皱纹结构的SEM图像；具有屈曲结构的可拉伸电子设备(ii)；和0%到50%应变拉伸下的波浪结构变形示意图(iii)。（b）蛇形互连结构示意图(i)；具有蛇形互连结构的超薄弹性体的未拉伸状态(ii)和拉伸状态(iii)的SEM图像。（c）在弯曲、拉伸和扭曲下具有蛇形网状结构的微动传感器的照片。（d）氧化石墨烯-纳米复合材料(i, ii)上两种剪纸几何形状的SEM图像，以及剪纸片(iii)的机械曲线。
图3.微/纳米结构柔性电子器件的模板方法
图4.用于健康监测的微/纳米结构柔性电子器件
本文综述了微/纳米结构柔性电子的研究进展。结合的微/纳米结构，柔性电子被赋予了许多令人兴奋的性能，包括皮肤亲和性、高灵敏度、宽检测范围以及的机械性能。随着技术工程的进步，出现了模板法、3D打印等构建方法来生成这些微纳结构。这极大地促进了柔性电子产品的发展，并拓宽了它们在健康监测、治疗和植入应用方面的生物医学应用。
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