水是大多数生命形式中的资源之一，在地球上非常丰富。对于大多数工业应用来说，水被认为是一种污染物，需要大量的精力和工程，来减少水。
任何湿度测量的基本目标是确定某种介质或过程中水蒸气（即气体）的量。湿度测量可以涵盖从十亿分之一到*饱和的蒸汽的广泛动态范围，该范围是10到9的幂的令人印象深刻的动态范围。微量水分是指少量水蒸气的测量，通常在百万分之几的范围内。
痕量水分测量的常见应用是压缩空气。压缩空气通常被称为第四实用程序，可用于电动工具，喷漆房，重型机械操作等。当压缩空气管线中水过多时，可能会发生一些问题，例如腐蚀，结冰，并损坏设备。
微量水分测量对于处理氮气或其他高纯度气体的应用也至关重要。氢冷发电机须有非常干燥的气体，以防止任何潜在的火花和爆炸。电力变压器在绝缘油的顶部需要一个加压的氮气层。所有这些应用都需要仔细而准确地测量水含量。
有几种测量微量水分的方法。氧化铝传感器被认为是行业的主力军，它们制造起来相对简单，涵盖了从-100到+20oC露点的各种测量范围。氧化铝传感器在多孔氧化铝层的顶部沉积有一层金膜，该金膜吸收其中的水蒸气。中央铝芯和金膜形成一个2位电容器，其中电介质是氧化物层，被电介质吸收的水与传感器周围气体的水分含量直接相关。
尽管氧化铝传感器用途广泛，但并不美。其缺点包括干燥时间和准确性。如果传感器的氧化膜*被水浸透，并且是在干净，干燥的空气中引入的，则可能需要花费大量时间（长达几个小时）才能使水“变干”，传感器才能准确记录下过程的真实露点。干燥时间取决于几个因素，例如流速和管线压力。
氧化铝传感器的精度约为±1oC至2oC，因此通常不用于高精度应用。每当需要更高的精度时，建议使用其他技术，例如冷镜式露点仪。
氧化铝传感器依靠将电容与露点相关联来间接测量露点，而冷镜式露点仪直接测量露点。冷镜式露点仪使用反射表面将其冷却至露水开始形成的确切温度，并使用光源对其进行检测。通过控制该镜面表面的温度，可以确定被测气体的确切露点温度。这种方法可产生令人印象深刻的精度，约为±0.1oC或更高，这使其成为测量痕量水分的准确方法。
冷冻镜湿度计需要清洁的气体样本，低压和其他一些要求。大多数应用程序包括实验室和研发公司。可调谐二极管激光吸收光谱是一项新开发的技术，它提供了一种无漂移的方法来测量痕量水分，而几乎没有干燥时间。
存在许多测量痕量水分的方法。没有哪一种方法是美的，好的方法取决于应用程序。新技术不断发展，每种技术都有其自身的优点和缺点。
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