Sierra的SmartTrak 100热质量流量控制器是一款多气体数字MFC，旨在提供您每次可依靠的平稳，稳定，准确和可重复的气体质量流量控制。不受上游气体温度和压力波动的影响，Sierra SmartTrak 100的气体质量流量控制是直接而明确的。SmartTrak已获得CE认证，可在您的较大流量范围（高达1000 slpm或更高）下使用，具有各种尺寸，工业防水外壳，工作压力和温度以及行业尺寸。
采用热技术的直接质量流量+/- 0.5％满量程精度。
多气体数字质量流量控制器。
50 slpm的占地面积小，非常适合OEM。
主要标准的10点NIST校准。
所有清洁气体，包括有毒和腐蚀性
高精度：满量程的+/- 0.5％
精度：满量程的+/- 1％
重复性：满量程的+/- 0.2％
流量范围从0-10 sccm到0-1000 slpm（nlpm）
更高和更低的流量范围
压力至500 psig（34.5 barg）
气体/环境温度32°F至122°F（0°C至50 C）
响应时间：300ms时间常数：2秒（典型值），在终值的±2％之内（包括建立时间），根据要求提供更快或更慢的速度
24 VDC电源
密封件：Viton，Neoprene，Karlez
316不锈钢结构
包括模拟或数字信号：RS-232，RS-485（多点），0-20、4-20 mA; 0-5、1-5、0-10 VDC
数字通信： 基金会现场总线 和 Modbus RTU
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