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双极旋片真空泵的问与答

来源: 深圳市科锐诗汀科技有限公司

2020/11/25 10:57:42 1433

双极旋片真空泵的问与答

1、Q:双极旋片真空泵可以应用到哪些行业?

  A:深圳市科锐诗汀科技有限公司代理的旋片泵可广泛应用于太阳能、光学、薄膜、冶炼、铸造、热处理、手机、半导体、建材、微电子、平板显示、Low-E玻璃、装饰品等行业,在PVD、CVD、MBE、电厂凝气器、油脂精炼系统、锂电池干燥系统、直接蒸发系统、化工蒸发、蒸馏、浓缩系统、原料药三合一干燥系统、食品脱水系统、冶金工业、钢包脱气、航天模拟实验、包装等行业中体现了明显优势。

 

2、Q:我要抽到100Pa(1mbar),可以选旋片泵吗?

   A:可以。在泵的选型上要注意降低一个数量级:如果要抽到100Pa,则泵必须能抽到10Pa,还要考虑腔体的漏率,如果漏率较大,需要维持额定的真空度,还要选择更小的极限真空度,旋片式真空泵通常有单级和双极二种,是市场上使用广泛的真空泵之一。双极旋片泵的极限真空度一般在1x10-1Pa,好的能达到5x10-²Pa。

 

 3、Q:双级旋片泵的抽速怎么选?

 A: 需要考虑待抽腔体的大小、在多长时间内抽到多大的真空度。如果不懂计算,可以交给深圳科锐诗汀的专业工程师帮您计算选型。另外还有一个技巧,就是宁愿选择稍大一点抽速的泵,会使设备更游刃有余。

 

4、Q:旋片泵抽速较小,腔体较大,对时间无要求,多抽一段时间就可以了吧?

A: 不可以。旋片式真空泵其结构主要有定子,转子,端盖和旋片等组成。转子偏心安装在定子孔内,转子开槽。当转子旋转时,旋片在槽内依靠离心力保持和定子孔内壁紧密接触,并沿孔壁在槽内进行滑动,使泵腔容积不断发生大小变化,再通过排气阀片,从而完成吸气,压缩与排气过程,达到连续抽气的目的。如果泵不能短时间内抽到较低的真空度,势必长时间高速旋转,转子就可能发热膨胀,由于其与内壁紧密接触,就会发生堵转,从而失去抽真空的功能。

 

5、Q:双极旋片泵,可以抽水汽吗?

A:少量水汽是可以的,但大量的不行。旋片式真空泵在结构形式上一般采用双级油浸式,即整个泵体浸在油箱内的泵油中,油箱内部有冷却系统,可进行水冷却降低泵在气体压缩过程中产生大量压缩热。(小泵无需水冷却)。抽的气体是经过泵油的,如果气体内含有大量水蒸气,极易造成泵油乳化。

 

6、Q:双极旋片泵还有哪些气体不能抽?

A:双击旋片泵不适宜抽除含氧过高,有毒,易爆炸,对金属有腐蚀作用以及含有颗粒状尘埃的气体,也不适用输送气体和长时间暴露大气运转。

 

7、Q:为什么在使用双极旋片泵是会有油气喷出来?如何解决?

A: 旋片式真空泵作为前级泵,一般是从标准大气压抽到1Pa以下,由于整个泵体浸在油箱内的泵油中,在刚启动的时候,大量气体涌入,极易将泵油带出泵体,但随着压力的下降,气体越来越稀薄,启动的一刹那之后,并不会再有泵油被带出。当然这会给一些对环境洁净度有要求的客户造成困扰,可以配置专业的油污过滤器。

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