传感器
是能感受规定的被测量并按照一定的规律转换成可用信号的器件或装置,通常由敏感元件和转换元件组成。
一、 的工作原理
物理应用的是物理效应,诸如压电效应,磁致伸缩现象,离化、极化、热电、光电、磁电等效应。被测信号量的微小变化都将转换成电信号。
化学包括那些以化学吸附、电化学反应等现象为因果关系的,被测信号量的微小变化也将转换成电信号。
大多数是以物理原理为基础运作的。
二、的特点
两依附,两密集,两分散。
三、的发展趋势
1.发现新现象,开发新材料,——新现象、新原理、新材料是发展技术,研究新型的重要基础,每一种新原理、新材料的发现都会伴随着新的种类诞生。
2.集成化,多功能化——向敏感功能装置发展 的集成化,zui近积极地应用了半导体集成电路技术及其开发思想用于制造。如采用微细加工技术MEMS(Microelectro-Mechanical System)制作微型 ;采用厚膜和薄膜技术制作等。
3.向未开发的领域挑战——生物 到目前为止,正大力研究。开发的大多为物理,今后应积极开发研究化学和生物。特别是智能机器人技术的发展,需要研制各种模拟人的感觉器官的,如已有的机器人力觉、触觉、味觉等。
4.智能(Smart sensor)——具有判断能力、学习能力的。事实上是一种带微处理器的,它具有检测、判断和信息处理功能。
如美国霍尼韦尔公司制作的ST-3000型智能,采用半导体工艺,在同一芯片上制作CPU.EPROM和静态压力、压差、温度三种敏感元件。