Advanced Energy Industries, Inc.成立于1981年，总部位于美国科罗拉多州，是一家专注于精密电源转换、测量和控制解决方案的全球化企业。该公司在等离子体电源输送与控制领域拥有超过四十年的技术沉淀，其产品广泛服务于半导体、平板显示器、太阳能光伏和数据存储等高科技制造行业。

优势

Cesar系列具备丰富的频率与功率选择，可覆盖2 MHz、4 MHz、13.56 MHz、27.12 MHz及40.68 MHz等多种工业、科学和医疗频段，功率等级从300 W至5 kW不等。Cesar 1330以13.56 MHz的标准工业频率运行，适配绝大多数半导体和等离子体工艺设备。

产品采用先进的开关模式技术，搭载高效谐振开关概念，可将功率调节至大范围输出阻抗，在高功率输出的同时降低能量损耗。设备支持多种运行模式，包含正向功率调节、负载调节等，可在不同工况下保持稳定工作状态。

设备搭载智能保护与故障管理功能，集成过压保护、过流保护、短路保护和过热关机保护等多重安全特性，可通过系统互锁接口集成到更大的设备安全回路中，提升使用安全性。产品配备丰富的互联选项与友好的人机交互界面，支持远程监控与现场操作，大功率机型可选用水冷设计，保障连续运行稳定性。

参数

应用领域

产品可应用于等离子体增强化学气相沉积、物理气相沉积、反应性离子刻蚀、溅射、等离子体表面处理、CO₂激光系统等工艺场景，适配半导体、电子制造等工业领域使用需求。