电子级硅烷分析氦离子色谱仪适用于高纯氢、氧、氩、氮、氦、氖、氪、氙、二氧化碳等气体中痕量杂质的检测，仪器配备高灵敏度的氦离子化（PDHID）检测器，采用中心切割与反吹技术，配置具有吹扫保护气路的进样切换阀和进口氦气纯化器，通过无死体积取样或在线进样方式，一次性完成上述高纯气体中H2、O2（Ar）、N2、CH4、CO、CO2等常见杂质或C1-C4等碳氢化合物的检测，检测限达ppb级，重复性RSD≤1％。

　　

　　电子级硅烷分析氦离子色谱仪技术优势说明：

　　

　　1、载气纯化器为可再生型纯化器，能将5N级气体纯化到7.5N以上，超高纯度的载气让AGC高纯气气相色谱仪具有更高的灵敏度；

　　

　　2、载气切换装置的配置，可同时承载两瓶载气，避免载气使用完毕在切换气源时进入污染气体，载气切换装置的配置保证了AGC气相色谱更高的工作效率和分析质量；

　　

　　3、独到的中心切割、反吹系统技术，可以一次完成多种复杂成分的分析检测；

　　

　　4、双检测器并联使用，搭载两个*独立的检测器，它们的温控系统和操作运行都是独立的两个检测器，可以串联，亦可以并联；