TMC 主动隔振系统 带宽0.6-150Hz 森泉光电

STACIS^®III是先jin的主动振动隔离系统。采用惯性振动传感器、复杂的控制算法和压电致动器，STACIS通过连续测量地板活动，扩大和收缩压电致动器过滤地板振动来进行实时振动隔离。

起初被设计用于半导体工厂的精密显微光刻、计量和检测设备振动隔离， STACIS现在是嘈杂环境中敏感仪器的行业标准解决方案，它广泛应用于半导体晶圆厂、失效分析实验室、纳米技术研究、纳米加工设备和材料研究。

Stacis III包括一个新型改进的数字控制器—DC-2020。它搭载 zui 新 gao 效 的双核处理器，前后面板上都配备以太网和USB串口，新型控制系统为用户提供了一个现代的、易于使用的图形用户界面(GUI)。

Stacis III在世界各地有数百个成功安装案例，对于大部分振动敏感仪器来说都是 zui 理想 的振动消除系统。

Stacis^®III优势

STACIS相比于气浮支腿更加坚固可靠，且不存在气浮隔振系统离不开气源的局限性。它无气浮支撑，并且与主动的气浮系统不同，STACIS可以放置在具有内部主动空气隔离系统的设备下面，且两个隔振系统相互兼容。

设计有 du 特 的通信串口和专有high-force压电技术导致其具有大的主动带宽0.6赫兹到150赫兹，以及从2Hz开始主动振动消除性能可达到90%。

特点&优点

• 从0.6Hz开始隔离振动，1Hz时可隔振40%到70%

• 2Hz时在高度、水平和垂直三个方向上提供超过90%的振动隔离

• 减少工厂地板铺设成本，使设备能够安装在较强振动环境中

• 主动带宽：0.6Hz到150Hz

• 设备制造商竭力推荐

• 六自由度活动硬性底座设计，无气浮支撑

• 鲁棒控制系统，不需要预先调适

• 可与设备内置隔振系统兼容

• 当环境振动水平随时间增加时，确保设备满足自身的振动标准

• 利用TMC Stacis®技术通过压电陶瓷致动器来消除振动

• 带有基于计算机的图形用户界面(GUI)的数字控制器

• 在旧的、有噪音的地板上也可以安装使用

• 兼容各种地板的高度和类型

• TMC关注Stacis III隔振性能，提供全面的售后服务

TMC 主动隔振系统 带宽0.6-150Hz 森泉光电

性能特性                                                                       DC-2020 控制器特点

隔离器尺寸、环境和设备使用要求

应用注释

如下图所示的45纳米线宽测试模型图是Amphibian Systems公司生产，安装在德克萨斯州奥si汀SEMATECH的浸没式光刻系统测试模型。

设备一开始被安装在由钢制支撑结构支撑的钢铁混凝土基座（商用弹性体隔振垫）上，但是这台基座没有达到设备指ding的振动标准，模型图品质较差。

把底座的支撑结构移走，用主动压电振动消chu系统STACIS来进行改装。将STACIS直接安装在已有的底座下面。用STACIS来支撑设备显著减少整体振动水平，以达到生产商的地面振动标准。更重要的是，STACIS显著地改shan了模型品质。

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