TMC 压电主动式消振系统 防振台

STACIS® III是主动式消振系统, 它装有惯性振动传感器, jing,准的控制逻辑与技术的压电制动器。 STACIS® 可实时侦测地面振动, 再凭借压电晶体的收缩或膨胀即刻xiao,除地面振动。

起初 STACIS® 是为微刻机，度量仪与半导体工业的检测而设计。如今已经成为不于半导体产业，更是破坏分析，奈米产品研发制造，材料科学业界等敏感精密仪器在吵杂环境中使用的标准消振设备。

TMC 压电主动式消振系统 防振台

STACIS® III相较于其前身的STACIS® ，它有新的控制系统-- DC-2020。其中有新的双核运算处理器。ETHERNET与US,B接口于前后两面。这个*的控制系统可直接由前端显示屏操作。在过往的千百个成功案例中，STACIS® III 系统不愧为大多数敏感精密仪器的主动式消振系统的选择.

由于刚性百倍优于其它的气垫式减振器，STACIS® 不受一般气垫式减振器所面临的稳定与过 大位移的能力限制。与气垫减振器不同的是它并无软性悬浮装 置,因此可以装置在已有内置气 垫减振系统的仪器下, 使得两个系统各发挥大功效。

STACIS® 系统使用*的串联方式与高强度的压电制动技术,使得它胜于其它减振系统, 能在0.6赫兹到150赫兹的you,效频段真正使用主动方式消振。 在2赫兹以上能消减90%的振幅量。

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激光控制：激光电流源、激光器温控器、激光器控制、伺服设备与系统等等

探测器：光电探测器、单光子计数器、单光子探测器、CCD、光谱分析系统等等

定位与加工：纳米定位系统、微纳运动系统、多维位移台、旋转台、微型操作器等等

光源：半导体激光器、固体激光器、单频激光器、单纵模激光器、窄线宽激光器、光通讯波段激光器、CO2激光器、中红外激光器、染料激光器、飞秒超快激光器等等

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光学平台：主动隔振平台、气浮隔振台、实验桌、刚性工作台、面包板、隔振、隔磁、隔声综合解决方案等等

光学元件：各类晶体、光纤、偏转镜、反射镜、透射镜、半透半反镜、滤光片、衰减片、玻片等等

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