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ICSPI通过整合机电一体化系统,将传统AFM集成到一个CMOS芯片上,设计生产出世界单芯片动态原子力显微镜(Single-Chip Dynamic Atomic Force Microscope)nGauge:更小、更快、更强!nGauge集成化原子力显微镜功能强大,操作简便,环境适应性;具有的振动免疫性,更少的漂移,性价比。
产品概述和特点
♦ 集成热压阻共振悬臂梁,可变换,成像时间少于1分钟(无需激光对准);
♦ 热距离传感器可在数秒内自动化完成针尖靠近;
♦ 热电MEMS驱动器高精移动悬臂针尖,具有低漂移,适应长时成像实验;
♦ 系统高度集成小巧,具有的振动免疫性,可在任意平面上直接测量,无需隔震;
♦ 氧化铝针尖具有超长使用寿命,可连续成像超过10000张。
nGauge应用方向
技术参数
nGuage AFM参数
扫描范围(XYZ) | 15umx15umx10um |
XY扫描分辨率 | <0.5nm |
XYZ驱动方式 | 电热法 |
传感器 | 压阻 |
动态RMS噪声 | <1nm |
成像模式 | 间断接触,动态AFM |
扫描速度 | >8lines/s |
硬件参数
系统尺寸 | 70mmx90mmx75mm |
载物台尺寸(XY) | 70mmx43mm |
Z轴行程 | 20mm |
驱动方式 | 步进电机 |
系统重量 | 450g |
隔震装置 | 无需额外隔震装置 |