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·一次测量,实现粗糙度、波纹度、轮廓分析
·实现全范围内的粗糙度、波纹度测量
·X向采用新型数字式传感器,精度更高,Z1采用自主研发高精度多段式电感传感器
多段式高精度传感器具有超大量程,限度保持了传感器的原有精度。
采用高刚性高精度免维护直线运动导轨,精密控制系统。
采用高速并行数据采集单元,硬件触发、硬件高速采样,无延时;足够密集及稳定的数据源为后期数据处理、计算提供力的保障。
密集及稳定的数据源为后期数据处理、计算提供力的保障。
技术参数:
规格号 | 参数 | |
测量范围 | X轴 | 0-200mm可选 |
Z轴 | 0-620mm可选 | |
Z1轴 | 6mm,2mm | |
线性精度 | 轮廓 | ≤±0.07%f.s.(95mm测杆) |
粗糙度 | ≤±(12nm+3%) |
轮廓测量:各种类型工件表面的线要素,点要素、点与点的距离、线与线的距离、各要素的位置度包括距离、平行度、垂直度、角度、槽深、槽宽、半径,可进行直线度分析、凸度分析。
轮廓分析:Pa、Pt、Pp、Pv、Pz、Pq、Psm、Psk、Pku、Pmr
粗糙度测量:Ra、Rp、Rv、Rz、Rz(jis)、R3z、RzDIN、Rzj、Rmax、Rc、Rt、Rq、Rsk、Rku、Rsm、Rs、R△q、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、Rmr
波纹度参数:Wa、Wt、Wp、Wv、Wz、Wq、Wsm、Wsk、Wku、Wmr