一、探针台概念：

探针台主要是在电学分析领域中的量测分析使用，通过X、Y、Z及仰角调节的装置，通常称之为探针座，对探针夹持并进行相应的直线操作运动，对所测样品进行点针，再通过电缆线与电学量测设备连接输出，得出所需要的电压，电流，电阻率的相关测量数据，如：大电流，高频率，高电压，高功率及微电流等相关参数的测量分析；

二、仪准探针台主要应用：

主要应用于半导体行业以及光电行业居多，如：复杂、高速器件的精密电气测量的研发，其目的在于保证质量及器件的可造性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。

三、仪准探针台的使用方式：

1.将样品载入真空卡盘，开启真空阀门控制开关，使样品安全且牢固地吸附在卡盘上。

2.使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台，在显微镜低倍物镜聚焦下看清楚样品。

3.显微镜切换为高倍率物镜，在大倍率下找到待测点，再微调显微镜聚焦和样品x-y，将影像调节清晰,带测点在显微镜视场中心。

4.待测点位置确认好后,再调节探针座的位置,将探针装上后可眼观先将探针移到接近待测点的位置旁边,再使用探针座X-Y-Z三个微调旋钮,慢慢的将探针移至被测点,此时动作要小心且缓慢，以防动作过大误伤芯片，当探针针尖悬空于被测点上空时，可先用Y轴旋钮将探针前进少许，再使用Z轴旋钮进行下针，*则使用X轴旋钮左右滑动，观察是否有少许划痕，证明是否已经接触。

5.确保针尖和被测点接触良好后，则可以通过连接的测试设备开始测试。

四、仪准探针台的类型：

1. 晶圆探针台(Wafer Probe Station)

2. 射频探针台(RF Probe Station)

3. lCD/OLED大尺寸平板探针台(LCD/OLED Probe Station)

4. 四探针台（Four Point Probe Station,也称：表面电阻探针台）

5. 霍尔效应探针台（Hall effect measurement system）

6. 变温探针台（高温探针台、低温探针台）

7. 环境可控型探针台等型号

仪准科技致力于失效分析设备研发及测试服务：手动探针台probe，激光开封机laser decap，IV自动曲线形测仪，微光显微镜EMMI,红外显微镜