进口真空泵的分类很多，大体上分为旋片真空泵，罗茨真空泵，活塞真空泵，螺杆真空泵等。进口真空泵的品牌也很多，有莱宝、普旭、爱德华、贝克、普发、里其乐、爱发科等。分类不同，其检查方法也有所不同，但大体上还是分为以下几个步骤：

1、进口真空泵主要技术性能（真空度等）达到设计要求或满足工艺要求，附属设备（冷凝器等）齐全；没备运转平稳，声响正常，无过热现象，封闭良好

2、普诺克旋片式真空泵设备润滑系统完好，润滑油质符合规定要求，并定期进行检查，换油。

3、各种仪表（如真空表等）指示值正确，并定期进行校验；各阀门启闭灵活、密封良好，无泄漏现象；管道无泄漏，并定期进行检查。

4、电动机配备合理，运行正常（温升和声响正常），电气线路安全可靠，有接地保护措施，电气装置（控制柜）可靠，电气仪表指示正确；安全防护装置齐全。

5、设备及冷却系统设施整洁，无锈蚀。

6、水环式真空泵冷却系统运行正常，冷却装置完好，排水温度不超过规定要求，应有断水保护装置。一般来说所用的工作液都是水。作用在转子叶轮上的能量被液体接收并传给被压缩的气体，这样就造成了水环的温度升高。水环的部分水与气体一起压缩排除泵外。在压缩过程中产生的大部分热量被带走。因而需要不断的补充新鲜的水，以使水环泵的工作温度能够维持恒定。在多数的水环式真空泵中，其工作温度约为15-20℃，它取决于所补充水的温度。实际上，水环泵的极限压力并不十分重要，因为不同的液体，在压力低于50-60hPa时，会发生气蚀现象，泵的部件会遭到损坏。当泵接近极限压力时，抽速很低，泵入口处的水开始沸腾。当转至泵的出口时，形成的气泡开始破裂。这样就会产生很大的噪声，同时泵的驱动轮和泵腔等部件被逐渐破坏。这种现象通常称作气蚀现象。一旦气蚀现象发生，就要通过小阀引入少量的新鲜空气。在这种情况下，在入口官道上开个小孔，以便定量地加入些新鲜的其他，如果使用气体喷射器，气蚀现象就不会产生了。