美国Corning平面度测量系统FlatMaster 100-上海量博实业有限公司手机版

详细介绍

Tropel FlatMaster 100

平面度测量仪快速、准确地测量经粗磨、研磨、精磨、抛光和精加工的部件

美国Corning平面度测量系统FlatMaster 100 Flatmaster 100平面度仪提供了五种纳米级的解析度和高达50纳米的标准精度，能够快速和准确地对各种表面的平面度、线型、半径和其他表面参数进行精密测量。

Tropel Flat master 100平面度仪技术特点及应用领域：
➭ 无接触和无损伤测量 ➭ 适用多种类型材料：半导体，金属，聚合物，陶瓷，玻璃和其它材料 ➭ 适用多种类型晶片：硅/蓝宝石/碳化硅/砷化镓/石英/锗/铌酸锂 ➭ 适用多种类型表面：研磨表面，抛光面、光滑面

可测量多种指标		完整的分析系统
● 厚度 ● TTV ● SORI ● LTV ● LDOF ● 压力	● 翘曲度 ● 弯曲度 ● 平坦度 ● 平面度 ● 线轮廓 ● 表面轮廓	● 三维 ● 拓扑 ● 合格率 ● 分布 ● 二维环形 ● 半径切面	● 平面 ● 球面 ● 锥形匹配 ● 局部平面度分析 ● 斜度

技术参数：
➣ 精度：50nm （2.0μ″） ➣ 重复性：15 nm（0.6μ″）（1 sigma） ➣ 分辨率：5nm （0.2μ″） ➣ 可测量工件尺寸：25mm-100mm（更小工件也可提供） ➣ 动态测量范围：>100um ➣ 测量数据点：230,000 / measurement ➣ 测量时间：5秒 ➣ 电源：～220V 50Hz