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Flat Master 200平面度仪产品特点:
➤ 无接触和无损伤测量
➤ 适用多种类型材料:半导体,金属,聚合物,陶瓷,玻璃和其它材料
➤ 适用多种类型晶片:硅/蓝宝石/碳化硅/砷化镓/石英/锗/铌酸锂
➤ 适用多种类型表面:研磨表面,抛光面,光滑面
Flat Master 200平面度仪可测量多种不同指标:
➤ 厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/压力/翘曲度/弯曲度/平坦度/平面度/线轮廓/表面轮廓
➤ 完整的分析系统
➤ 三维/拓扑/合格率/分布/二维环形和半径切面/平面/球面/锥形匹配/局部平面度分析/斜度
➤ 可以实现自动、快速、准确、稳定的测量
➤ 超过15年的工业应用,几百台的装机量
Flat Master 200平面度仪的技术参数:
1)精度:50nm (2.0μ″)
2)重复性:15 nm(0.6μ″)(1 sigma)
3)分辨率:5nm (0.2μ″)
4)可测量工件尺寸:25mm-200mm
5)动态测量范围:>100um
6)测量数据点:230,000 点 / 每次测量
7)测量时间:5秒
8)电源:220V 50Hz