设备名称：高温高真空退火炉CSL—2000X-HV

结构特点：•采用SS304不锈钢真空腔体，尺寸：净666mm×560mm H

•底部样品台电动升降，装卸样方便快捷

•真空度：10-6Torr

•工作温度：2000℃

基本参数  ·电源：AC380V 50/60HZ

•功率：22 KW

•加热元件：石墨

•加热空间尺寸 220× 280mm H

•理想放样空间尺寸；中180mm×160mm H

•加热元件工作温度： 2000℃

・升温速率：室温-1000℃≤15℃/min，1000-1600℃≤10℃/min，1600-2000℃≤8℃/min;

温控系统：•PLC+人机界面控制

•C型热电偶进行测温和控制

•PID控制

•具有超温及断偶报警功能

•控温精度：±1℃

•可安装PC控制软件对数据进行实时采集（选配)

控制系统：设备的抽真空，加热等操作全部在电脑上运行

真空度：  •冷态下可达到的真空度（真空泵另购）：

8*10-6Torr （采用分子泵机组，配套抽真空口CF160接口)

5*10-2Torr（采用机械泵机组，配套抽真空接口KF40接口)

机械泵（选配）： •型号：VRD-48

•抽气口接口尺寸：KF40

•抽气速率：（48m3/h）13.3L/S

•电机功率：1500 W

•极限压强4×10-2 pa

分子泵（选配）： •抽气速率：700L/s

•极限压强：6×10-6 Pa

•启动时间：≤9min

•额定转速：36000rpm/min

•冷却方式：水冷

•抽气口接口尺寸：CF160

水冷设备（选配）：型号：CT-6300

•输入电压：220-240V 50HZ

•水箱容量：45L

•水流量：70L/min

气路系统（选配）：•真空腔室预留一个抽真空KF40抽真空接口，预留一个手动排气口（通空气），预留             18 个进气和出气孔，上、中、下各分布6个气孔。同时在进气和出气端共配置3个电             磁阀，可以通过控制面板控制电磁阀的通断,同时电磁阀出口处安装卡套接                   头，方便客户自己手动安装电磁阀和腔体预留18个进气孔之间的连接方式。

•其中在一路进气端安装有一个单向阀门。

设备外型尺寸：1850mm*1000mm*2080mm*(长宽高）

重量：        约620kg

注意事项：由于气瓶内部气压较高，所以向腔室内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，为了确保安           全，建议使用压力低于0.02MPa,

建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全；

对于样品加热的实验；不建议关闭法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，

若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等)

我们不建议客户使用易燃易爆和有毒的气体，如果客户工艺原因确实需要使用易燃易爆和有毒气体，

请客户自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体而造成的相关问题，本公司概不负责。

降温时请利用程序降温，不建议直接降温，设备温度在100℃以上时不要直接关掉水冷设备电源，防止出现安全问题