FR-Scanner扫描型膜厚测试仪-北京中兆国仪科技有限公司手机版

详细介绍

扫描型膜厚测试仪

是简洁易操作的台式膜厚仪，适用于在大尺寸基板上的薄膜和涂层上，利用光学反射方法来测量和自动分析薄膜涂层的表征。

扫描型膜厚测试仪

膜厚仪是可通过测定放置在真空托盘上的任何大小的半导体晶圆片，快速计算出其厚度、折射率、均匀性、颜色等参数。

膜厚仪的光学扫描系统，采用一套又可配套的光谱仪，集成白炽和LED混合的光源，以及其他光学部件。在本系统设计中没有任何弯曲或移动探针。因此，在精确度、重复性和长期性方面，光纤具有优异的性能。确保系统结果输出的稳定性。此外光源的特殊设计提供极长寿命，可达10000小时以上。

系统参数	FR-Scanner-E VIS/NIR	FR-Scanner-F VIS/NIR	FR-Scanner-F VIS
样片尺寸	晶圆片: 2in-3in-4in-6in-8in. 不规则样片等
R向分辨精度	10μm	5μm	5μm
角度分辨精度	0.2°	0.1°	0.1°
光斑大小	500μm (直径): 反射的区域
zui小膜厚	100nm
光谱范围	350nm - 1100nm	350nm - 1100nm	550nm – 900nm
光谱仪参数	3648 pixels
光源平均使用寿命	10000小时
膜厚范围	20nm-90μm	20nm-90μm	100nm-190μm
测量分辨率	<0.1nm	0.06nm	0.06nm
测量稳定范围	<0.1nm	0.06nm	0.06nm
测量精度	1nm	1nm	1nm
扫描速率	200meas/min 5points: 6sec 25points: 15sec	625meas/min 5points: 4sec 25points: 9 sec	625meas/min 5points: 4sec 25points: 9 sec
通讯接口	USB 2.0 / USB 3.0. Any PC running Windows 7/8/10 64bit.
尺寸	485W x 457L x 500H mm
功率要求	110V/230V, 50-60Hz, 300Watts
重量	23kg	40kg	40kg

*附件选项

电脑：PC with 19inch screen

对焦模块：光学模块附带250um直径光斑大小的反射探针

泵浦：样品放置用的高级无油真空泵浦