CPS-7000低温真空探针台是一种利用液氦/液氮快速制冷并为晶片、器件和材料（薄膜、纳米、石墨烯、电子材料、超导材料、铁电材料等）提供真空和低温测试条件下进行非破坏性的电学表征和测量平台。CPS-7000低温真空探针台可以对材料或器件进行电学特性测量、光电特性测量、参数测量、高阻测量、DC测量、RF测量和微波特性测量，为了提高系统的实用性，还可以提高3.2K的温度扩展选件、震动隔离装置、LN2杜瓦、高放大倍数的显微镜、分子泵组、热辐射屏的温度控制装置、探针臂的光纤电缆、光学样品架等选件。

技术规格

温度范围：80k-475（液氮制冷），4.2k-475k（液氮制冷）

选配低温选件后，温度可降低到3.2K；选配高温选件，温度范围为20k-675k；控温稳定性：+50mK；

制冷剂消耗:<1.5L/hr@LHe   <0.5L/hr@LN2;

降温时间：液氦~30min to 10k，~60min to 5k；液氮~45min to 110k， ~60min to 80k；

zui大测试样品尺寸：直径51mm；

频率范围：测量DC到67GHz；

XYZ位移平台形成与精度：X轴51mm，精度20μm；Y轴25mm，精度10μm；Z轴25mm，精度10μm；

真空环境：10^-5-10^-6mbar

顶部光学观察窗：标准2.0‘’（51mm）；

4个直流探针臂，zui多可使用6个探针臂，每个探针臂上配有三个同轴接头及配套电缆。

标准配置：

低温真空探针台：包含探针台、显微成像装置、三维位移平台、阻尼隔振台、液氮液氦制冷平台

选购件：气动隔振台、阻尼隔振台、3.2K低温选件、高温选件、带充气增压杜瓦瓶、电动控制杜瓦瓶、泵管道隔震装置、无油压缩机、机械泵、分子泵机组等。